等離子清洗(Plasma Cleaning)是一種利用低溫等離子體對材料表面進行清潔、活化或改性的干式表面處理技術,廣泛應用于高精密制造領域。其核心優勢在于無損、環保、高效、可處理復雜結構,特別適用于傳統濕法清洗難以滿足要求的場景。
以下是等離子清洗在主要工業領域的典型用途:
一、電子與半導體行業
晶圓/芯片表面去污
去除光刻膠殘留、有機污染物、微塵顆粒。
提升后續鍍膜、沉積、鍵合工藝的附著力與良率。
引線框架、封裝基板預處理
清除氧化層和有機膜,增強焊線(Wire Bonding)可靠性。
PCB/FPC 表面活化
改善柔性電路板(FPC)在壓合或涂覆前的表面能,提升膠粘或油墨附著力。
二、光學與攝像頭模組(如手機鏡頭)
鏡片、濾光片、藍寶石玻璃清洗
去除脫模劑、指紋、油脂等納米級污染物。
避免水漬或化學殘留,保障高透光率和鍍膜質量。
攝像頭模組組裝前處理
對鏡筒、支架、傳感器窗口進行表面活化,提升UV膠或結構膠的粘接強度。
三、顯示與觸控面板
OLED/LCD 面板清潔
在貼合(如OCA光學膠貼合)前去除微塵和有機膜,防止氣泡、脫層。
ITO玻璃表面活化
提高導電層與后續功能層(如封裝膠、偏光片)的結合力。
四、汽車與醫療器件
汽車傳感器、ECU組件清洗
確保電子元件在嚴苛環境下的長期可靠性。
醫用導管、植入器械表面處理
去除脫模劑,同時提高親水性或生物相容性(如用于后續涂層或細胞附著)。
五、塑料與復合材料粘接前處理
對PP、PE、PTFE等難粘材料進行表面改性,引入極性基團(如–OH、–COOH),顯著提升膠粘、噴涂、印刷的附著力。
替代火焰處理或化學底涂,更安全環保。
六、新能源領域
鋰電池極片清洗:去除金屬箔表面的油污和氧化物,提升涂布均勻性和電極界面穩定性。
光伏組件背板活化:增強EVA膠膜與背板的粘接強度,防止層間剝離。

